今天我們利用線光譜共焦傳感器來對(duì)陶瓷基板的溝槽進(jìn)行掃描測(cè)量,首先我們介紹下光譜感覺傳感器的工作原理。光譜共焦測(cè)量通過使用特殊透鏡,延長(zhǎng)不同顏色光的焦點(diǎn)光暈范圍,形成特殊放大色差,使其根據(jù)不同的被測(cè)物體到透鏡的距離,會(huì)對(duì)應(yīng)一個(gè)精確波長(zhǎng) 的光聚焦到被測(cè)物體上。通過測(cè)量反射光的波長(zhǎng),就可以得到被測(cè)物體到透鏡的精確距離。
反射光的光強(qiáng)不會(huì)影響測(cè)量結(jié)果。這意味著,無論有多少反射光從被測(cè)物體反射回來,測(cè)量的距離結(jié)果可能是不變的。因?yàn)榉瓷涔獾墓鈴?qiáng)僅僅取決于反 射物體的反光程度。因此,采用的3D線光譜共焦傳感器,即使被測(cè)物體是強(qiáng)吸光材料,如黑色橡膠;或者是透明材料,如玻璃或者液體,都可以進(jìn) 行 正常可靠的測(cè)量。
根據(jù)客戶提供的測(cè)試需求, 利用我們的線光譜共焦傳感器 對(duì)陶瓷基板的凹槽進(jìn)行掃描,通過灰度顯示的ROI數(shù)據(jù)及3D點(diǎn)云測(cè)量凹槽深度以及寬度。
掃描取樣
陶瓷基板樣品經(jīng)掃描后凹槽處各個(gè)位置的深度寬度信息都能很好的在3D點(diǎn)云圖上面呈現(xiàn)出來,通過灰度圖與點(diǎn)云測(cè)量相結(jié)合能把需求測(cè)量范圍的深度寬度信息很好的測(cè)量出來。