10kHz的超快采樣速度
LT-ITS采用了高亮度的彩色光源、高效率的光學鏡組和高靈敏度的電子器件，
能夠實現行業領先的采樣 速度，從而幫助客戶提高測量效率和加快產線的節拍。
+20nm的超高線性精度
獨立設計的高空間分辨率的白光干涉光學探頭，能夠帶來極為出色的線性特性。
基于干涉原理的測厚探頭，無原理層面引入的非線性因素，
只需要考慮光譜分析過程中的非線性誤差。
1nm的超高重復精度
采用高靈敏度、高信噪比的元器件，同時在探頭中實現內部信號數字化，大大減小了噪聲干擾。
同時基于干涉的測厚方式能夠大大提高傳感器對外部擾動的抑制能力。