涂層在線測(cè)量與控制需求書

?

一、????? 工藝概述：

1.???? 大致流程：

產(chǎn)品為帶狀柔性薄膜，收納為卷處于放卷處，放卷/收卷/主軸分別連接有伺服電機(jī)，可控制張力與轉(zhuǎn)速；收卷與放卷相對(duì)反向轉(zhuǎn)動(dòng)為產(chǎn)品提供張力，主軸轉(zhuǎn)動(dòng)時(shí)帶動(dòng)產(chǎn)品移動(dòng)，當(dāng)產(chǎn)品經(jīng)過主軸下方在其表面生成涂層，該過程處于真空環(huán)境下；

?

2.???? 產(chǎn)品特性：

?

產(chǎn)品結(jié)構(gòu)如圖示，表面有一定粗糙度；涂層為金屬材料，不同規(guī)格產(chǎn)品涂層量不同約1-10um。

3.???? 工作環(huán)境：

上下跳動(dòng) 0.3mm內(nèi)

?

?

二、????? 需求概述：

1.???? 目標(biāo)：

對(duì)產(chǎn)品表面涂層量在線測(cè)量，當(dāng)涂層量與預(yù)設(shè)不符時(shí)，聯(lián)動(dòng)生產(chǎn)設(shè)備對(duì)其糾正。??????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????

?

2.???? 產(chǎn)品結(jié)構(gòu)：

應(yīng)至少包含測(cè)量?jī)x器，信號(hào)送變器，數(shù)據(jù)處理模塊，顯示模塊，操作模塊，控制輸出模塊；

?

3.???? 流程：

在生產(chǎn)過程中，測(cè)量?jī)x對(duì)產(chǎn)品寬度方向不同位置的涂層量測(cè)量，對(duì)該數(shù)據(jù)處理分析后，反饋并控制涂層制作設(shè)備，保證產(chǎn)品表面涂層量符合設(shè)定要求；

?

4.???? 特性：

涂層測(cè)量精度：±1um,涂層控制精度：±1um;

解決方案：

測(cè)試方法：

將被測(cè)物放置于運(yùn)動(dòng)平臺(tái)上，控制運(yùn)動(dòng)平臺(tái)沿特定方向往復(fù)運(yùn)動(dòng)多次，通過編碼器觸發(fā)控制器采樣，從而測(cè)量得到被測(cè)物某一截面上不同位置的厚度。

?

1. C1200靜態(tài)單點(diǎn)測(cè)量涂層厚度時(shí)，重復(fù)精度在100nm以內(nèi)。

2. 由于被測(cè)物并不平整，所以被測(cè)物運(yùn)動(dòng)過程中測(cè)量不同位置厚度會(huì)有變化，但通過編碼器觸發(fā)測(cè)量時(shí)，在同一位置觸發(fā)測(cè)量得到的厚度值，依然有較好的重復(fù)精度。