一款結合激光測振傳感器和數字顯微鏡的一體化測量系統，
可廣泛使用在微結構的振動特性測量領域中，如顯微材料測試、半導體領域測試和微機電測試。
產品優勢：
? 影像指示測量位置?
?? 光學變焦、數字變焦，最大放大倍數450倍?
?? 1310nm 測量光+ 655nm 紅光指示?
?? 測量光斑大小 <100um?
?? X/Y/Z 三維調節能力?
?? 振動檢測分辨率 ≤1nm?
?? DC~2.5MHz 測量范圍?
?? 支持同步觸發測量?
?? 最大振動量測量能力 20m/s
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