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基于高精度光譜共焦傳感器的基膜厚度測量方案

2023 - 08 - 21

摘要：基膜厚度是許多工業(yè)領(lǐng)域中重要的參數(shù)，特別是在薄膜涂覆和半導(dǎo)體制造等領(lǐng)域。本報(bào)告提出了一種基于高精度光譜感測的基膜厚度測量方案，該方案采用非接觸測量技術(shù)，具有高重復(fù)性精度要求和不損傷產(chǎn)品表面的優(yōu)勢。通過詳細(xì)的方案設(shè)計(jì)、設(shè)備選擇和實(shí)驗(yàn)驗(yàn)證，展示了如何實(shí)現(xiàn)基膜厚度的準(zhǔn)確測量，并最終提高生產(chǎn)效率。引言基膜厚度的精確測量對于許多行業(yè)來說至關(guān)重要。傳統(tǒng)測量方法中的接觸式測量存在損傷產(chǎn)品表面和對射測量不準(zhǔn)確的問題。相比之下，高精度光譜感測技術(shù)具有非接觸、高重復(fù)性和高精度的優(yōu)勢，因此成為了基膜厚度測量的理想方案。方案設(shè)計(jì)基于高精度光譜感測的基膜厚度測量方案設(shè)計(jì)如下：2.1 設(shè)備選擇選擇一臺高精度光譜感測儀器，具備以下特點(diǎn)：微米級或亞微米級分辨率：滿足對基膜厚度的高精度要求。寬波長范圍：覆蓋整個(gè)感興趣的波長范圍?？焖俨杉俣龋耗軌蚩焖佾@取數(shù)據(jù)，提高生產(chǎn)效率。穩(wěn)定性和重復(fù)性好：確保測量結(jié)果的準(zhǔn)確性和可靠性。2.2 光譜感測技術(shù)采用反射式光譜感測技術(shù)，原理如下：在感測儀器中，發(fā)射一個(gè)寬光譜的光源，照射到待測樣品表面。根據(jù)不同厚度的基膜對光的反射率不同，形成一個(gè)光譜反射率圖像。通過對反射率圖像的分析和處理，可以確定基膜的厚度。2.3 實(shí)驗(yàn)設(shè)計(jì)設(shè)計(jì)實(shí)驗(yàn)驗(yàn)證基膜厚度測量方案的準(zhǔn)確性和重復(fù)性。選擇一系列已知厚度的基膜作為標(biāo)準(zhǔn)樣品。使用高精度光譜感測儀器對標(biāo)準(zhǔn)樣品進(jìn)行測量，并記錄測量結(jié)果。重復(fù)多次測量，并計(jì)...
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圓筒內(nèi)壁檢測技術(shù)的新突破：激光三角測距法與機(jī)器視覺的完美結(jié)合

2023 - 12 - 23

摘要：圓筒內(nèi)壁的檢測在工業(yè)生產(chǎn)中具有重要意義，傳統(tǒng)方法存在諸多問題。本文介紹了一種新型的檢測系統(tǒng)，該系統(tǒng)結(jié)合了改進(jìn)的激光三角測距法和機(jī)器視覺技術(shù)，旨在解決傳統(tǒng)方法的不足。新方法可以在高溫環(huán)境下工作，對小徑圓筒進(jìn)行測量，且測量精度高、速度快。通過實(shí)驗(yàn)驗(yàn)證，該系統(tǒng)能夠?qū)崿F(xiàn)圓筒內(nèi)壁的高質(zhì)量、高速度的在線檢測，為現(xiàn)代工業(yè)生產(chǎn)提供了有力支持。關(guān)鍵詞：圓筒內(nèi)壁檢測；機(jī)器視覺；激光三角測距法；在線檢測引言圓筒內(nèi)壁檢測是工業(yè)生產(chǎn)中的重要環(huán)節(jié)，其質(zhì)量直接關(guān)系到產(chǎn)品的性能和使用壽命。傳統(tǒng)的檢測方法存在諸多問題，如檢測精度不高、速度慢、無法在線檢測等。為了解決這些問題，本文提出了一種新型的檢測系統(tǒng)，該系統(tǒng)結(jié)合了改進(jìn)的激光三角測距法和機(jī)器視覺技術(shù)，旨在實(shí)現(xiàn)圓筒內(nèi)壁的高質(zhì)量、高速度的在線檢測。工作原理本系統(tǒng)采用激光三角測距法作為主要測量手段。激光三角測距法是一種非接觸式測量方法，通過激光投射到被測物體表面并反射回來，再通過傳感器接收，經(jīng)過處理后可以得到被測物體的距離和尺寸信息。本系統(tǒng)對傳統(tǒng)的激光三角測距法進(jìn)行了改進(jìn)，使其能夠在高溫環(huán)境下工作，并對小徑圓筒進(jìn)行測量。同時(shí)，本系統(tǒng)還采用了機(jī)器視覺技術(shù)進(jìn)行輔助測量和判斷。機(jī)器視覺技術(shù)是通過計(jì)算機(jī)模擬人類的視覺功能，實(shí)現(xiàn)對圖像的采集、處理和分析。本系統(tǒng)利用機(jī)器視覺技術(shù)對圓筒內(nèi)壁表面進(jìn)行圖像采集和處理，通過算法識別和判斷內(nèi)壁表面的缺陷和尺寸信息。通過將激光三角測距法和...
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激光位移傳感器內(nèi)部組成單元的作用是什么？

2020 - 09 - 16

激光位移傳感器的性能與應(yīng)用功能已得到不斷完善與提升，它在食品、鋼鐵以及冶金等加工領(lǐng)域都實(shí)現(xiàn)了廣泛應(yīng)用。這是因?yàn)榧す馕灰苽鞲衅骶确浅８?，無論選用哪一種測量方法都不會(huì)造成較大偏差，現(xiàn)在就激光位移傳感器各內(nèi)部組成單元的作用是什么作簡要闡述：1.處理器單元處理脈沖信號激光位移傳感器內(nèi)置數(shù)字處理器單元，通過數(shù)字處理器單元的控制與分析便于迅速計(jì)算出傳感器和被測物之間的距離。光束在接收元件的位置后便會(huì)通過模擬以及數(shù)字電路處理并且通過微處理器分析獲得相應(yīng)的輸出值，同時(shí)在模擬窗口按比例輸出標(biāo)準(zhǔn)信號數(shù)據(jù)。2.激光發(fā)射器發(fā)射檢測脈沖激光位移傳感器是利用激光發(fā)射器發(fā)射數(shù)百萬個(gè)脈沖到待檢測物中并返回至接收器。因?yàn)榧す獍l(fā)射器是測距、測位移必不可缺的重要組成單元，現(xiàn)今絕大多數(shù)的激光發(fā)射器都具有相干性好、平行度好以及亮度高等多重特性，故而它可確保所發(fā)射的脈沖具有恒定的強(qiáng)度以及穩(wěn)定的行進(jìn)路線。3.回波處理單元處理回波脈沖信號回波處理單元是激光位移傳感器較為重要的組成部分之一。它的主要作用是將被測物返回的脈沖進(jìn)行必要的處理，故而它可輔助位移傳感器完成對振動(dòng)、直徑以及距離等精密幾何數(shù)據(jù)的分析與處理，許多的檢測者更是將它大量應(yīng)用于長距離檢測領(lǐng)域。激光位移傳感器是高科技作用下新型的非接觸性測量裝置，許多人也是基于此而密切關(guān)注激光位移傳感器西安。而據(jù)相關(guān)反饋表明激光位移傳感器的處理器單元會(huì)實(shí)時(shí)處理各類脈沖信號，它的激光發(fā)射...
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激光測距傳感器的現(xiàn)場使用建議包括哪些內(nèi)容

2020 - 09 - 17

激光測距傳感器既特別適宜應(yīng)用于各類形狀物體的位置、尺寸以及長寬高的測量，同時(shí)又特別適宜測試部分在軌道上運(yùn)動(dòng)的物體位置、速度以及長度等相關(guān)參數(shù)。許多人非常疑惑激光測距傳感器發(fā)出的什么光線，事實(shí)上它們所發(fā)出的是光脈沖，現(xiàn)在就激光測距傳感器的現(xiàn)場使用建議包括哪些內(nèi)容作簡要闡述：1.確定模擬輸出量的穩(wěn)定性激光測距傳感器是通過光學(xué)發(fā)射系統(tǒng)和光學(xué)接受系統(tǒng)實(shí)現(xiàn)的，故而在現(xiàn)場測試需要確定模擬輸出量的穩(wěn)定性。若是模擬量輸出不穩(wěn)定，那么有可能導(dǎo)致信號強(qiáng)度低于固定標(biāo)準(zhǔn)值，這時(shí)需要現(xiàn)場檢查待測目標(biāo)的反射率情況，從而使其擁有足夠強(qiáng)的信號強(qiáng)度。2.經(jīng)常檢查激光點(diǎn)的位置和亮度在現(xiàn)場應(yīng)用激光測距傳感器測量工業(yè)起重機(jī)的定位以及進(jìn)行軌道式車輛定位測量時(shí)，要注意經(jīng)常檢查激光點(diǎn)的位置和亮度。如果激光點(diǎn)偏離軌道式車輛或者工業(yè)起重機(jī)指定的測量區(qū)域，那么就需要及時(shí)進(jìn)行調(diào)整，避免偏差過大影響測量結(jié)果。3.露天測量需增加遮陽防雨罩據(jù)了解現(xiàn)今絕大多數(shù)的激光測距傳感器都是用于露天測量。為了避免激光測距傳感器在露天測量時(shí)受到風(fēng)雨點(diǎn)或者過高溫度環(huán)境的影響，建議增加遮陽防雨裝置后再行測量，同時(shí)現(xiàn)場測量時(shí)還應(yīng)盡量保證具有良好的通風(fēng)散熱性能。激光測距傳感器的應(yīng)用范圍已隨其性能的提升而不斷擴(kuò)展，因此現(xiàn)今無論是大型測距器還是小型激光測距傳感器都得到廣泛應(yīng)用。激光測距傳感器在現(xiàn)場使用時(shí)除了需要注意確定模擬輸出量的穩(wěn)定性，同時(shí)還需要經(jīng)常檢查激光點(diǎn)的位置...
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選擇激光測距傳感器應(yīng)用于地震預(yù)報(bào)可實(shí)現(xiàn)哪些作用

2020 - 09 - 18

據(jù)相關(guān)科技資訊反饋表明激光測距傳感器應(yīng)用的身影遍及汽車、海事以及生產(chǎn)等多個(gè)領(lǐng)域，它借助激光光束與待測點(diǎn)之間的傳播時(shí)間來確認(rèn)其距離的遠(yuǎn)近。事實(shí)上激光測距傳感器應(yīng)用性能已得到眾多用戶的廣泛肯定與認(rèn)可，現(xiàn)在就選擇激光測距傳感器應(yīng)用于地震預(yù)報(bào)可實(shí)現(xiàn)哪些作用作簡要闡述：1.便于及時(shí)掌握地震源的距離遠(yuǎn)近激光測距傳感器可基于不同的波長對地震源進(jìn)行準(zhǔn)確測量，從而便于監(jiān)測者能及時(shí)掌握地震源的距離遠(yuǎn)近。這種激光測距傳感器具有探測距離遠(yuǎn)以及遠(yuǎn)距離測距精度高等特性，故而將其對準(zhǔn)地震源或地震帶便于準(zhǔn)確獲知地震源的距離遠(yuǎn)近，同時(shí)它的這些特性還便于進(jìn)行大地控制測量。2.便于實(shí)時(shí)動(dòng)態(tài)監(jiān)測地震狀況激光測距傳感器之所以能在地震預(yù)報(bào)中實(shí)現(xiàn)高頻應(yīng)用，還在于它可實(shí)時(shí)動(dòng)態(tài)監(jiān)測地震狀況。因?yàn)榧す鉁y距擁有更快的反應(yīng)速度，它只要從被測物體中獲得一個(gè)回波就可進(jìn)行距離測量，而周邊環(huán)境所產(chǎn)生的回波將被忽略，因此監(jiān)測人員就可根據(jù)實(shí)時(shí)的回波信息了解地震源的移動(dòng)狀況。3.便于提前預(yù)防以及轉(zhuǎn)移人群據(jù)相關(guān)調(diào)查反饋表明選擇激光測距傳感器應(yīng)用于地震預(yù)報(bào)有助于大幅度降低地震損失。因?yàn)橥ㄟ^地震源的預(yù)報(bào)與探測便于監(jiān)控根據(jù)地震的移動(dòng)速度以及移動(dòng)距離調(diào)整計(jì)劃，并且根據(jù)地震的強(qiáng)度提前進(jìn)行預(yù)防與轉(zhuǎn)移人群。據(jù)了解部分激光測距傳感器還被廣泛應(yīng)用于測量導(dǎo)彈以及人造衛(wèi)星等空間目標(biāo)的距離大小，但是這需要訂購特定的激光測距傳感器型號方可使用。據(jù)了解現(xiàn)今越來越多的地震預(yù)報(bào)選擇應(yīng)...
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機(jī)器人控制為什么更適宜選用激光位移傳感器

2020 - 09 - 21

激光位移傳感器的作用原理主要是利用激光的高方向性、高單色性以及高亮度等特點(diǎn)來實(shí)現(xiàn)無接觸測量，它有助于大幅度提升位移測量的精度和可靠性。故而現(xiàn)今越來越多的應(yīng)用場所都在積極尋求可靠性更高的國產(chǎn)激光位移傳感器，現(xiàn)在就機(jī)器人控制為什么更適宜選用激光位移傳感器作簡要闡述：1.確保機(jī)器人擁有更強(qiáng)的抗振沖擊能力據(jù)相關(guān)介紹表明現(xiàn)今越來越多的機(jī)器人在結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)之初都會(huì)優(yōu)先考慮使用激光位移傳感器。因?yàn)檫@種位移傳感器具有更強(qiáng)的抗振沖擊能力，眾所周知機(jī)器人在行駛過程中可能會(huì)因?yàn)榕龅秸系K物而導(dǎo)到受到重大沖擊，為了能確保它在大沖擊下仍擁有穩(wěn)定的性能，那么選用抗振沖擊能力較強(qiáng)的激光位移傳感器是較為明智的選擇。2.促使機(jī)器人控制擁有更加穩(wěn)定的輸出信號機(jī)器人控制優(yōu)先選用激光位移傳感器的原因還在于，它可促使機(jī)器人在控制作業(yè)中擁有更加穩(wěn)定的輸出信號。因?yàn)槲灰苽鞲衅魇腔谌菧y量原理而設(shè)計(jì)并且大量應(yīng)用了數(shù)字化背景抑制技術(shù)，因此有助于大幅度提升抗干擾能力，確保輸出信號穩(wěn)定且無干擾。3. 確保機(jī)器人擁有EMI屏蔽特性機(jī)器人控制載入激光位移傳感器的原因在于它有助于實(shí)現(xiàn)EMI屏蔽功能。因?yàn)榧す馕灰苽鞲衅魇抢眉t光激光以及小清晰的光斑實(shí)現(xiàn)位移移動(dòng)控制，在機(jī)器人控制中基本不會(huì)出現(xiàn)EMI干擾現(xiàn)象，將它應(yīng)用于機(jī)器人控制也助于提升其EMI屏蔽特性。激光位移傳感器的普及與應(yīng)用逐步取代了舊時(shí)的位移測量方式，事實(shí)上這是激光位移傳感器發(fā)展的新思路。...
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激光位移傳感器的功能有哪些

2020 - 09 - 22

激光位移傳感器作為一種在工業(yè)生產(chǎn)當(dāng)中很常用的精密測量儀器有著重要的作用，因?yàn)榧す馕灰苽鞲衅鞴δ軓?qiáng)大所以得到了愈來愈廣泛的應(yīng)用，那么激光位移傳感器到底都有哪些功能呢？接下來就這個(gè)問題做個(gè)詳細(xì)的介紹。功能一、尺寸的測定在激光位移傳感器眾多的實(shí)用功能當(dāng)中尺寸的測定無疑是更基本且更為具有代表性的功能之一，比如說能夠?qū)ξ⑿〉牧悴考M(jìn)行精準(zhǔn)的位置識別；能夠?qū)ιa(chǎn)過程當(dāng)中傳送帶的上面有無零件進(jìn)行準(zhǔn)備的監(jiān)測與識別；對于機(jī)械化操作重要組建的工具中心位置進(jìn)行準(zhǔn)確檢測的等等從而確保生產(chǎn)過程的順利無障礙的進(jìn)行。功能二、電子元件的檢查在電子領(lǐng)域的生產(chǎn)當(dāng)中對于電子元件的生產(chǎn)及使用過程是有著極高要求的，而激光位移傳感器就能夠更好的執(zhí)行對電子元件的檢查任務(wù)，一般會(huì)采用兩個(gè)激光位移傳感器來對置于中間的電子元件進(jìn)行檢查然后通過讀出的數(shù)據(jù)來確定該元件尺寸是夠精準(zhǔn)及完整。功能三、均勻度的檢查在某些工業(yè)領(lǐng)域當(dāng)中對于產(chǎn)品或者零部件的均勻度有著極高要求，為了保證這些產(chǎn)品或者零部件具有合格的均勻度就需要激光位移傳感器來完成了，可以沿測量目標(biāo)的傾斜方向擺置幾個(gè)激光位移傳感器來進(jìn)行檢查然后根據(jù)其讀數(shù)的數(shù)據(jù)來判斷結(jié)果。概括來說，目前應(yīng)用愈加廣泛的激光位移傳感器受到了更多用戶們的高度關(guān)注，雖然進(jìn)口的激光位移傳感器多年來始終占據(jù)著市場當(dāng)中的主導(dǎo)，但是隨著激光位移傳感器國產(chǎn)化腳步的不斷加快，也將會(huì)給用戶們帶來價(jià)格更加實(shí)惠功能更加強(qiáng)大的產(chǎn)品。
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選購激光位移傳感器時(shí)應(yīng)著重關(guān)注哪些方面

2020 - 09 - 23

現(xiàn)如今激光位移傳感器在很多領(lǐng)域當(dāng)中都有了廣泛的應(yīng)用，這與激光位移傳感器功能的強(qiáng)大是密不可分的，再加上其維護(hù)簡單、更加耐用等特點(diǎn)加持更是成為了某些領(lǐng)域當(dāng)中必不可少的重要倚賴。不過用戶們要想讓激光位移傳感器能夠更好的滿足自身實(shí)際測量需求，那么在選購時(shí)應(yīng)著重關(guān)注這幾點(diǎn)才行。一、確認(rèn)測量時(shí)是否需要直接接觸激光位移傳感器的測量過程需要一個(gè)完整的三角光路，而在測量過程當(dāng)中能否形成完整的三角光路則決定著能否帶來精準(zhǔn)的數(shù)據(jù)結(jié)果。如果測量時(shí)需要直接接觸到測量目標(biāo)就會(huì)不可避免的產(chǎn)生印記或者劃痕，這樣就會(huì)對測量數(shù)據(jù)的精準(zhǔn)度帶來影響，因此這個(gè)問題要事先明確。二、確認(rèn)各項(xiàng)主要指標(biāo)的誤差值用戶選擇激光位移傳感器正是看中了其高精度測量的顯著特點(diǎn)，而這個(gè)顯著特點(diǎn)也正是某些對零部件生產(chǎn)有著高精度要求的領(lǐng)域所必不可少的，比如說汽車零部件及航空飛行器零部件等都對于精度要求很高。在這個(gè)前提之下在選擇激光位移傳感器的時(shí)候就需要確認(rèn)好各項(xiàng)主要指標(biāo)的誤差值，因?yàn)樵谑褂玫倪^程當(dāng)中測量頻率、量程以及分辨率和精度等指標(biāo)都會(huì)產(chǎn)生相互的影響進(jìn)而影響到測量數(shù)據(jù)結(jié)果的精準(zhǔn)度，所以尤其是對測量精度要求更高的用戶更是要提前做好了解才行，盡管前些年激光位移傳感器都是進(jìn)口產(chǎn)品主導(dǎo)著整個(gè)市場，但是隨著激光位移傳感器國產(chǎn)化進(jìn)程的不斷加快，尤其在以上這幾個(gè)方面都進(jìn)行了不斷的優(yōu)化與創(chuàng)新，如今已經(jīng)能夠?yàn)閺V大用戶帶來了日臻完善的使用功能與進(jìn)口產(chǎn)品之間的差距已經(jīng)...

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激光位移傳感器

激光測距傳感器

光譜共焦位移傳感器

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激光測振技術(shù)：旋轉(zhuǎn)機(jī)械檢測的核心手段 2024 - 12 - 22 在旋轉(zhuǎn)機(jī)械的運(yùn)行過程中，振動(dòng)情況直接關(guān)乎其性能與安全。激光測振動(dòng)傳感器憑借其獨(dú)特優(yōu)勢，成為該領(lǐng)域不可或缺的檢測利器。它采用非接觸式測量，有效避免了對旋轉(zhuǎn)機(jī)械的物理干擾，確保測量的精準(zhǔn)性。其高精度的特性，能夠捕捉到極其微小的振動(dòng)變化，為故障診斷提供可靠依據(jù)。廣泛的應(yīng)用范圍涵蓋了電機(jī)、風(fēng)機(jī)、軸承等各類旋轉(zhuǎn)機(jī)械，在能源、化工、機(jī)械制造等眾多行業(yè)都發(fā)揮著關(guān)鍵作用。通過實(shí)時(shí)監(jiān)測振動(dòng)數(shù)據(jù)，可及時(shí)發(fā)現(xiàn)潛在問題，預(yù)防設(shè)備故障，保障生產(chǎn)的連續(xù)性與穩(wěn)定性，大大降低維修成本與停機(jī)風(fēng)險(xiǎn)。工作原理：激光與振動(dòng)的深度互動(dòng)激光測振動(dòng)傳感器基于激光多普勒效應(yīng)工作。當(dāng)激光照射到旋轉(zhuǎn)機(jī)械的振動(dòng)表面時(shí)，由于物體表面的振動(dòng)，反射光的頻率會(huì)發(fā)生多普勒頻移。設(shè)激光源發(fā)射的激光頻率為，物體表面振動(dòng)速度為，激光波長為，則多普勒頻移可由公式計(jì)算得出。通過精確測量多普勒頻移，就能得到物體表面的振動(dòng)速度，進(jìn)而獲取振動(dòng)信息。與傳統(tǒng)測量原理相比，激光多普勒測振具有顯著優(yōu)勢。傳統(tǒng)的接觸式測量方法，如壓電式傳感器，需要與被測物體直接接觸，這不僅會(huì)對旋轉(zhuǎn)機(jī)械的運(yùn)行產(chǎn)生一定干擾，還可能因安裝問題影響測量精度，而且在高速旋轉(zhuǎn)或微小振動(dòng)測量時(shí)，接觸式傳感器的響應(yīng)速度和精度受限。而激光測振傳感器采用非接觸式測量，避免了對旋轉(zhuǎn)機(jī)械的物理干擾，可實(shí)現(xiàn)高精度、寬頻帶的測量，適用于各種復(fù)雜工況下的旋轉(zhuǎn)機(jī)械振動(dòng)測量。實(shí)驗(yàn)設(shè)置：精準(zhǔn)測量的基石（一）微型激光多普勒測...

光譜共焦位移傳感器的那些事兒 2024 - 12 - 22 **光譜共焦傳感器是一種具有高精度、高效以及非接觸等技術(shù)優(yōu)勢的新型幾何量精密測量傳感器。以下將對光譜共焦傳感器進(jìn)行詳細(xì)介紹。****一、光譜共焦傳感器的工作原理**光譜共焦傳感器利用不同波長的光在被測物體表面反射后，通過色散物鏡聚焦在不同位置，從而建立位移和波長之間的關(guān)系。光源發(fā)出的光經(jīng)過色散物鏡后，不同波長的光聚焦在不同的軸向位置。當(dāng)被測物體處于某一特定波長的焦點(diǎn)位置時(shí)，該波長的光被反射回傳感器，通過成像光譜儀檢測到該波長的光，從而確定被測物體的位置。**二、光譜共焦傳感器的組成部分**1. **光源**：通常為寬光譜光源，能夠提供一定波長范圍的光。例如，在一些研究中提到的寬光譜光源可以覆蓋特定的波長范圍，以滿足不同測量需求。2. **色散物鏡**：是光譜共焦傳感器的關(guān)鍵組成部分之一。它能夠?qū)⒉煌ㄩL的光聚焦在不同的軸向位置，從而實(shí)現(xiàn)對被測物體位置的精確測量。設(shè)計(jì)色散物鏡時(shí)，需要考慮多個(gè)因素，如測量范圍、圖像空間數(shù)值孔徑、軸向響應(yīng)等。例如，有研究設(shè)計(jì)的色散物鏡測量范圍為 2mm，圖像空間數(shù)值孔徑為 0.3，軸向響應(yīng) FWHM 優(yōu)于 5μm，分辨率較高，并且波長與位移之間的判定系數(shù)優(yōu)于 0.9，線性關(guān)系良好。3. **成像光譜儀**：用于檢測反射回來的光，并確定其波長。在一些研究中，采用棱鏡 - 光柵分光的方式對成像光譜儀的后端進(jìn)行模擬和分析，消除了成像光譜儀中的譜線彎曲。**三、...

光譜共焦位移傳感器制造技術(shù)詳解 2024 - 12 - 11 摘要光譜共焦位移傳感器是一種高精度、非接觸式的光電位移傳感器，廣泛應(yīng)用于光學(xué)鏡片檢測、半導(dǎo)體制造、醫(yī)療器械生產(chǎn)等多個(gè)領(lǐng)域。本文詳細(xì)闡述了光譜共焦位移傳感器的制造技術(shù)，包括生產(chǎn)技術(shù)細(xì)節(jié)、工藝流程以及需要注意的具體事項(xiàng)，為相關(guān)領(lǐng)域的研發(fā)和生產(chǎn)提供參考。引言隨著精密儀器制造業(yè)的發(fā)展，對于工業(yè)生產(chǎn)測量的要求越來越高。光譜共焦位移傳感器以其高精度、非接觸式、實(shí)時(shí)無損檢測等特性，成為解決這一問題的有效手段。本文旨在詳細(xì)介紹光譜共焦位移傳感器的制造技術(shù)，包括關(guān)鍵零部件的選擇、生產(chǎn)工藝流程以及制造過程中需要注意的事項(xiàng)。一、光譜共焦位移傳感器的基本原理光譜共焦位移傳感器由光源、分光鏡、光學(xué)色散鏡頭組、小孔以及光譜儀等部分組成。傳感器通過色散鏡頭將位移信息轉(zhuǎn)換成波長信息，再利用光譜儀進(jìn)行光譜分解，反解得出被測位移。其中，色散鏡頭作為光學(xué)部分完成了波長和位移的一一映射，是傳感器的核心部件。二、關(guān)鍵零部件的選擇1. 光源選擇白光LED作為光源，其光譜分布范圍廣泛，能夠滿足不同測量需求。同時(shí)，白光LED具有壽命長、穩(wěn)定性好等優(yōu)點(diǎn)，適合用于工業(yè)生產(chǎn)環(huán)境。2. 色散鏡頭色散鏡頭是光譜共焦位移傳感器的關(guān)鍵部件，其性能直接影響傳感器的測量精度和分辨率。在選擇色散鏡頭時(shí)，需要考慮其軸向色散與波長之間的線性度、色散范圍以及鏡頭材料等因素。3. 光譜儀光譜儀用于接收通過小孔的光信號，并確定其波長，從而實(shí)現(xiàn)位移分辨。在選擇...

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