更小的測量盲區(qū)
更高精度的尺寸及位移復(fù)現(xiàn)能力
高靈敏度光學(xué)非接觸測量
多膜層/多層玻璃測厚能力
同軸式測量配置,避免了激光三角傳感器的角度限制,縮小測量盲區(qū),
適合復(fù)雜細(xì)微結(jié)構(gòu)(如深溝槽結(jié)構(gòu)等)的測量。
針對光譜共焦位移傳感器研制開發(fā)的HC-CC物鏡采用近十片鏡片,能
夠?qū)崿F(xiàn)最小10微米的成像光斑,同時提高測量線性精度。
針對光譜共焦位移傳感器定制開發(fā)的雜散光抑制優(yōu)化光譜儀以及高亮
度彩色激光光源,都能夠大幅提高傳感器的測量靈敏度,能夠?qū)Ρ砻?/p>
返回的極弱的光強(如薄膜等透明物體)完成測量。
光譜共焦傳感器適合各種材料的測量,并能確保對不同材料的測量性
能,同時支持多膜層/膠合玻璃的多層厚度測量。
抗干擾模塊化探頭
安裝于測量現(xiàn)場的探頭是純光學(xué)器件,通過光纖與控制器連接,因此
可以避免現(xiàn)場電磁干擾對測量精度的影響。探頭口徑可以設(shè)計到
Φ10mm以下,適合并排布置進行多個關(guān)鍵位置的測量。同時探頭可以
設(shè)計到±60°的測量角度,滿足曲面玻璃的測量