開放型激光尺
適用多樣測(cè)試距離需求，同時(shí)實(shí)現(xiàn)高精度的線性位移測(cè)量，
無(wú)需其他任何機(jī)械傳動(dòng)件。典型應(yīng)用包括:
/半導(dǎo)體工業(yè)測(cè)量和生產(chǎn)設(shè)備
/直線電機(jī)模組
/高精度三位坐標(biāo)儀
/精密儀器定位
機(jī)械結(jié)構(gòu)
開放型激光尺包含兩個(gè)部分:光電模塊和聚焦式反射鏡。
光電模塊配合準(zhǔn)直調(diào)節(jié)板安裝在固定基座，聚焦式反射鏡通過(guò)聯(lián)接件與導(dǎo)軌滑座連接。
為達(dá)到高精度的測(cè)量需求，必須確保有效測(cè)量行程內(nèi),出光軸與運(yùn)動(dòng)軸平行，減少誤差。
熱特性
外界環(huán)境變化對(duì)激光尺的影響不可避免，為了在不同環(huán)境下都能保證測(cè)量精度，
激光尺配備環(huán)境補(bǔ)償單元，該補(bǔ)償單元可以將氣壓、溫度、濕度變化帶來(lái)
的影響降低到允許的范圍以內(nèi)。