產(chǎn)品名稱:
光譜干涉_白光干涉_膜厚測量_納米膜厚測量 白光干涉測厚傳感器LT-ITS系列
上市日期:
2023-02-10
? ? ? ?光譜干涉測量傳感器基于薄膜干涉原理,薄膜可以是透明固體、液體或由兩塊玻璃所夾的氣體薄層。入射光經(jīng)薄膜上表面反射后得第一束光,折射光經(jīng)薄膜下表面反射,又經(jīng)上表面折射后得第二束光,這兩束光在薄膜的同側(cè),由同一入射光振動分出,是相干光,屬分振幅干涉。當由一組波長組成的白光入射到薄膜上時,某些波長的光被增強,而某些波長的光則被減弱。通過對混合的兩個波前產(chǎn)生的光干涉條紋進行光譜分光,測算干涉信號的頻率光譜,計算解析出被測樣品的厚度(或?qū)娱g隙)。