一款結(jié)合激光測(cè)振傳感器和數(shù)字顯微鏡的一體化測(cè)量系統(tǒng),
可廣泛使用在微結(jié)構(gòu)的振動(dòng)特性測(cè)量領(lǐng)域中,如顯微材料測(cè)試、半導(dǎo)體領(lǐng)域測(cè)試和微機(jī)電測(cè)試。
產(chǎn)品優(yōu)勢(shì):
? 影像指示測(cè)量位置?
?? 光學(xué)變焦、數(shù)字變焦,最大放大倍數(shù)450倍?
?? 1310nm 測(cè)量光+ 655nm 紅光指示?
?? 測(cè)量光斑大小 <100um?
?? X/Y/Z 三維調(diào)節(jié)能力?
?? 振動(dòng)檢測(cè)分辨率 ≤1nm?
?? DC~2.5MHz 測(cè)量范圍?
?? 支持同步觸發(fā)測(cè)量?
?? 最大振動(dòng)量測(cè)量能力 20m/s