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激光測距傳感器可以打造出哪些系統(tǒng)

日期： 2020-09-01

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激光測距傳感器不僅僅可以對車流量進(jìn)行簡單的監(jiān)控,而且能夠?qū)挝粫r間內(nèi)某一路段的車流進(jìn)行評估,它不僅僅是根據(jù)激光的測速原理進(jìn)行工作,其中還涉及到光學(xué)、電學(xué)、紅外學(xué)的原理,而且此種傳感設(shè)備并不是單一的進(jìn)行工作,那么小型激光測距傳感器?可以打造出哪些系統(tǒng)呢?

激光測距傳感器可以打造出哪些系統(tǒng)

1、車輛行人違法監(jiān)測系統(tǒng)

由于激光測距傳感器的光束不是實質(zhì)性的障礙,在利用激光測距傳感器對路面進(jìn)行監(jiān)控候并不會阻礙交通的正常運行。因此在一些禁?；蛘呓剐腥塑囕v通行的路段,使用固定發(fā)射設(shè)備進(jìn)行掃描，當(dāng)出現(xiàn)闖紅燈情況時便及時的進(jìn)行報警提示，也可以指揮人行橫道的交通燈變更顏色或者作出其他的警示。這種應(yīng)用光束不必要太寬,但一般要求測距距離比較長,以確保一定路段長度的防護(hù)距離,這種方式構(gòu)成的智能交通違法監(jiān)控系統(tǒng)將在交通物聯(lián)網(wǎng)中得到很大的應(yīng)用。

2、激光測速系統(tǒng)

激光測距傳感器是激光測距技術(shù)在交通管理領(lǐng)域較早的一種形式,因為其優(yōu)質(zhì)的性能在實際應(yīng)用中逐漸得到普及。激光測距傳感器是采用激光測距的原理,是對被測物體進(jìn)行兩次有特定時間間隔的激光測距,取得在此時間間隔內(nèi)被測物體的距離變化,從而得到該被測物體的移動速度。以激光測距傳感器為核心的激光測速系統(tǒng)分為固定式的和移動式兩種,固定式的一般固定在路邊或者龍門架上,以一個比較小的角度迎向來車,一般通過車牌反射進(jìn)行測量,激光測距傳感器范圍?和測量精度比較高。

之所以激光測距傳感器打造出的系統(tǒng)工作穩(wěn)定,這是因為它受外界因素的影響較小,比如以普通的速度探測為例,周邊的雷達(dá)系統(tǒng)和雜波不能夠?qū)鞲衅鬟M(jìn)行干擾,天氣的變化或者地理位置以及海拔高度的變化都不足以對傳感器的靈敏性和其他傳感特性造成影響。

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光譜共焦傳感器在激光隱切技術(shù)（激光隱形切割）晶圓切割中發(fā)揮了哪些作用？

2023 - 09 - 25

由于半導(dǎo)體生產(chǎn)工藝的復(fù)雜性和精密性，對晶圓切割的技術(shù)要求極高，傳統(tǒng)的機(jī)械切割方式已經(jīng)無法滿足現(xiàn)代電子行業(yè)的需求。在這種情況下，光譜共焦位移傳感器配合激光隱切技術(shù)（激光隱形切割）在晶圓切割中發(fā)揮了重要作用。以下將詳細(xì)介紹這種新型高效切割技術(shù)的應(yīng)用案例及其優(yōu)勢。原理：利用小功率的激光被光譜共焦位移傳感器設(shè)定的預(yù)定路徑所導(dǎo)，聚焦在直徑只有100多納米的光斑上，形成巨大的局部能量，然后根據(jù)這個能量將晶圓切割開。光譜共焦位移傳感器在切割過程中實時檢測切口深度和位置，確保切口的深廣和位置的精確性。激光隱切與光譜共焦位移傳感器結(jié)合的應(yīng)用案例：以某種先進(jìn)的半導(dǎo)體制程為例，晶圓經(jīng)過深刻蝕、清洗、擴(kuò)散等步驟后，需要進(jìn)行精確切割。在這個過程中，首先，工程師根據(jù)需要的切割圖案在軟件上設(shè)定好切割路徑，然后切割機(jī)通過光譜共焦位移傳感器引導(dǎo)激光按照預(yù)定的路徑且此過程工程師可以實時觀察和測量切口深度和位置。優(yōu)點：這種技術(shù)最大的優(yōu)勢就是它能夠?qū)崿F(xiàn)超微細(xì)切割，避免了大功率激光對芯片可能會帶來的影響。另外，因為切割的深度和位置可以實時調(diào)控，這法也非常具有靈活性。同時，由于使用光譜共焦位移傳感器精確控制切割的深度和位置，所以切割出來的晶圓表面平整，質(zhì)量更好?？偟膩砜矗庾V共焦位移傳感器配合激光隱切在晶圓切割中的應(yīng)用，不僅提升了生產(chǎn)效率，減少了廢品率，而且大幅度提升了產(chǎn)品質(zhì)量，對于當(dāng)前和未來的半導(dǎo)體行業(yè)都將是一個革新的技...

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激光測振技術(shù)：旋轉(zhuǎn)機(jī)械檢測的核心手段 2024 - 12 - 22 在旋轉(zhuǎn)機(jī)械的運行過程中，振動情況直接關(guān)乎其性能與安全。激光測振動傳感器憑借其獨特優(yōu)勢，成為該領(lǐng)域不可或缺的檢測利器。它采用非接觸式測量，有效避免了對旋轉(zhuǎn)機(jī)械的物理干擾，確保測量的精準(zhǔn)性。其高精度的特性，能夠捕捉到極其微小的振動變化，為故障診斷提供可靠依據(jù)。廣泛的應(yīng)用范圍涵蓋了電機(jī)、風(fēng)機(jī)、軸承等各類旋轉(zhuǎn)機(jī)械，在能源、化工、機(jī)械制造等眾多行業(yè)都發(fā)揮著關(guān)鍵作用。通過實時監(jiān)測振動數(shù)據(jù)，可及時發(fā)現(xiàn)潛在問題，預(yù)防設(shè)備故障，保障生產(chǎn)的連續(xù)性與穩(wěn)定性，大大降低維修成本與停機(jī)風(fēng)險。工作原理：激光與振動的深度互動激光測振動傳感器基于激光多普勒效應(yīng)工作。當(dāng)激光照射到旋轉(zhuǎn)機(jī)械的振動表面時，由于物體表面的振動，反射光的頻率會發(fā)生多普勒頻移。設(shè)激光源發(fā)射的激光頻率為，物體表面振動速度為，激光波長為，則多普勒頻移可由公式計算得出。通過精確測量多普勒頻移，就能得到物體表面的振動速度，進(jìn)而獲取振動信息。與傳統(tǒng)測量原理相比，激光多普勒測振具有顯著優(yōu)勢。傳統(tǒng)的接觸式測量方法，如壓電式傳感器，需要與被測物體直接接觸，這不僅會對旋轉(zhuǎn)機(jī)械的運行產(chǎn)生一定干擾，還可能因安裝問題影響測量精度，而且在高速旋轉(zhuǎn)或微小振動測量時，接觸式傳感器的響應(yīng)速度和精度受限。而激光測振傳感器采用非接觸式測量，避免了對旋轉(zhuǎn)機(jī)械的物理干擾，可實現(xiàn)高精度、寬頻帶的測量，適用于各種復(fù)雜工況下的旋轉(zhuǎn)機(jī)械振動測量。實驗設(shè)置：精準(zhǔn)測量的基石（一）微型激光多普勒測...

光譜共焦位移傳感器的那些事兒 2024 - 12 - 22 **光譜共焦傳感器是一種具有高精度、高效以及非接觸等技術(shù)優(yōu)勢的新型幾何量精密測量傳感器。以下將對光譜共焦傳感器進(jìn)行詳細(xì)介紹。****一、光譜共焦傳感器的工作原理**光譜共焦傳感器利用不同波長的光在被測物體表面反射后，通過色散物鏡聚焦在不同位置，從而建立位移和波長之間的關(guān)系。光源發(fā)出的光經(jīng)過色散物鏡后，不同波長的光聚焦在不同的軸向位置。當(dāng)被測物體處于某一特定波長的焦點位置時，該波長的光被反射回傳感器，通過成像光譜儀檢測到該波長的光，從而確定被測物體的位置。**二、光譜共焦傳感器的組成部分**1. **光源**：通常為寬光譜光源，能夠提供一定波長范圍的光。例如，在一些研究中提到的寬光譜光源可以覆蓋特定的波長范圍，以滿足不同測量需求。2. **色散物鏡**：是光譜共焦傳感器的關(guān)鍵組成部分之一。它能夠?qū)⒉煌ㄩL的光聚焦在不同的軸向位置，從而實現(xiàn)對被測物體位置的精確測量。設(shè)計色散物鏡時，需要考慮多個因素，如測量范圍、圖像空間數(shù)值孔徑、軸向響應(yīng)等。例如，有研究設(shè)計的色散物鏡測量范圍為 2mm，圖像空間數(shù)值孔徑為 0.3，軸向響應(yīng) FWHM 優(yōu)于 5μm，分辨率較高，并且波長與位移之間的判定系數(shù)優(yōu)于 0.9，線性關(guān)系良好。3. **成像光譜儀**：用于檢測反射回來的光，并確定其波長。在一些研究中，采用棱鏡 - 光柵分光的方式對成像光譜儀的后端進(jìn)行模擬和分析，消除了成像光譜儀中的譜線彎曲。**三、...

光譜共焦位移傳感器制造技術(shù)詳解 2024 - 12 - 11 摘要光譜共焦位移傳感器是一種高精度、非接觸式的光電位移傳感器，廣泛應(yīng)用于光學(xué)鏡片檢測、半導(dǎo)體制造、醫(yī)療器械生產(chǎn)等多個領(lǐng)域。本文詳細(xì)闡述了光譜共焦位移傳感器的制造技術(shù)，包括生產(chǎn)技術(shù)細(xì)節(jié)、工藝流程以及需要注意的具體事項，為相關(guān)領(lǐng)域的研發(fā)和生產(chǎn)提供參考。引言隨著精密儀器制造業(yè)的發(fā)展，對于工業(yè)生產(chǎn)測量的要求越來越高。光譜共焦位移傳感器以其高精度、非接觸式、實時無損檢測等特性，成為解決這一問題的有效手段。本文旨在詳細(xì)介紹光譜共焦位移傳感器的制造技術(shù)，包括關(guān)鍵零部件的選擇、生產(chǎn)工藝流程以及制造過程中需要注意的事項。一、光譜共焦位移傳感器的基本原理光譜共焦位移傳感器由光源、分光鏡、光學(xué)色散鏡頭組、小孔以及光譜儀等部分組成。傳感器通過色散鏡頭將位移信息轉(zhuǎn)換成波長信息，再利用光譜儀進(jìn)行光譜分解，反解得出被測位移。其中，色散鏡頭作為光學(xué)部分完成了波長和位移的一一映射，是傳感器的核心部件。二、關(guān)鍵零部件的選擇1. 光源選擇白光LED作為光源，其光譜分布范圍廣泛，能夠滿足不同測量需求。同時，白光LED具有壽命長、穩(wěn)定性好等優(yōu)點，適合用于工業(yè)生產(chǎn)環(huán)境。2. 色散鏡頭色散鏡頭是光譜共焦位移傳感器的關(guān)鍵部件，其性能直接影響傳感器的測量精度和分辨率。在選擇色散鏡頭時，需要考慮其軸向色散與波長之間的線性度、色散范圍以及鏡頭材料等因素。3. 光譜儀光譜儀用于接收通過小孔的光信號，并確定其波長，從而實現(xiàn)位移分辨。在選擇...

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