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機(jī)器視覺(jué)檢測(cè)具備哪些優(yōu)勢(shì)

日期： 2020-05-29

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機(jī)器視覺(jué)檢測(cè)對(duì)普通人而言比較陌生，畢竟平常接觸機(jī)會(huì)不多，即便真正見(jiàn)到該檢測(cè)設(shè)備，恐怕也不知道它肩負(fù)的職責(zé)和發(fā)揮的主要作用。對(duì)于有意向采購(gòu)或考察的客戶，亟待解決的關(guān)鍵點(diǎn)便是如何選擇好的機(jī)器視覺(jué)檢測(cè)，有經(jīng)驗(yàn)的采購(gòu)商知道該如何選取。鑒于很多人認(rèn)知模糊，下文會(huì)著重強(qiáng)調(diào)該檢測(cè)具備的三大優(yōu)勢(shì)。

機(jī)器視覺(jué)檢測(cè)具備哪些優(yōu)勢(shì)

1、非接觸式測(cè)量更安全

關(guān)于機(jī)器視覺(jué)檢測(cè)的選購(gòu)事項(xiàng)建議消費(fèi)者在采購(gòu)之前知曉清楚，以免因錯(cuò)誤理解而陷入采購(gòu)誤區(qū)，例如機(jī)器視覺(jué)檢測(cè)秉持的接觸方式。市面上以此技術(shù)為主的裝置，無(wú)需碰觸需要被檢測(cè)的物體，便可完成整個(gè)檢測(cè)任務(wù)，全程用時(shí)短，安全性高。

2、可測(cè)量的物體類別多樣

相較于傳統(tǒng)觀念內(nèi)的檢測(cè)設(shè)備，機(jī)器視覺(jué)檢測(cè)無(wú)論從精度還是響應(yīng)的靈敏度，均占據(jù)著重要位置，可測(cè)量的物體多種多樣。機(jī)器視覺(jué)檢測(cè)自問(wèn)世以來(lái)，一直以較高的性價(jià)比和豐富功能著稱，逐漸從默默無(wú)聞的狀態(tài)成為頗受消費(fèi)者歡迎的檢測(cè)類裝置。

3、能保持長(zhǎng)期穩(wěn)定態(tài)勢(shì)

但凡是出自正規(guī)大廠之手的機(jī)器視覺(jué)檢測(cè)，一旦啟動(dòng)將始終保持穩(wěn)定運(yùn)行態(tài)勢(shì)，這一點(diǎn)比較難得，要知道機(jī)器視覺(jué)檢測(cè)對(duì)應(yīng)的物體類別不等，安裝的場(chǎng)景也各不相同。如果自身承受力差，難以滿足長(zhǎng)時(shí)間的運(yùn)行需求，恐怕不利于自身銷售。

大部分人從未靜心探究過(guò)機(jī)器視覺(jué)檢測(cè)具備的主要優(yōu)勢(shì)，只淺顯的了解到該檢測(cè)方式的一些參數(shù)，這種認(rèn)知程度遠(yuǎn)遠(yuǎn)不夠，不利于后續(xù)針對(duì)機(jī)器視覺(jué)檢測(cè)的采購(gòu)。作為功能多樣的檢測(cè)設(shè)備，目前被應(yīng)用的領(lǐng)域也得到了擴(kuò)張，專門研究該檢測(cè)儀器的制造商仍然在努力升級(jí)其性能。

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激光測(cè)振技術(shù)：旋轉(zhuǎn)機(jī)械檢測(cè)的核心手段

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在旋轉(zhuǎn)機(jī)械的運(yùn)行過(guò)程中，振動(dòng)情況直接關(guān)乎其性能與安全。激光測(cè)振動(dòng)傳感器憑借其獨(dú)特優(yōu)勢(shì)，成為該領(lǐng)域不可或缺的檢測(cè)利器。它采用非接觸式測(cè)量，有效避免了對(duì)旋轉(zhuǎn)機(jī)械的物理干擾，確保測(cè)量的精準(zhǔn)性。其高精度的特性，能夠捕捉到極其微小的振動(dòng)變化，為故障診斷提供可靠依據(jù)。廣泛的應(yīng)用范圍涵蓋了電機(jī)、風(fēng)機(jī)、軸承等各類旋轉(zhuǎn)機(jī)械，在能源、化工、機(jī)械制造等眾多行業(yè)都發(fā)揮著關(guān)鍵作用。通過(guò)實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)振動(dòng)數(shù)據(jù)，可及時(shí)發(fā)現(xiàn)潛在問(wèn)題，預(yù)防設(shè)備故障，保障生產(chǎn)的連續(xù)性與穩(wěn)定性，大大降低維修成本與停機(jī)風(fēng)險(xiǎn)。工作原理：激光與振動(dòng)的深度互動(dòng)激光測(cè)振動(dòng)傳感器基于激光多普勒效應(yīng)工作。當(dāng)激光照射到旋轉(zhuǎn)機(jī)械的振動(dòng)表面時(shí)，由于物體表面的振動(dòng)，反射光的頻率會(huì)發(fā)生多普勒頻移。設(shè)激光源發(fā)射的激光頻率為，物體表面振動(dòng)速度為，激光波長(zhǎng)為，則多普勒頻移可由公式計(jì)算得出。通過(guò)精確測(cè)量多普勒頻移，就能得到物體表面的振動(dòng)速度，進(jìn)而獲取振動(dòng)信息。與傳統(tǒng)測(cè)量原理相比，...

光譜共焦位移傳感器的那些事兒

2024 - 12 - 22

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**光譜共焦傳感器是一種具有高精度、高效以及非接觸等技術(shù)優(yōu)勢(shì)的新型幾何量精密測(cè)量傳感器。以下將對(duì)光譜共焦傳感器進(jìn)行詳細(xì)介紹。****一、光譜共焦傳感器的工作原理**光譜共焦傳感器利用不同波長(zhǎng)的光在被測(cè)物體表面反射后，通過(guò)色散物鏡聚焦在不同位置，從而建立位移和波長(zhǎng)之間的關(guān)系。光源發(fā)出的光經(jīng)過(guò)色散物鏡后，不同波長(zhǎng)的光聚焦在不同的軸向位置。當(dāng)被測(cè)物體處于某一特定波長(zhǎng)的焦點(diǎn)位置時(shí)，該波長(zhǎng)的光被反射回傳感器，通過(guò)成像光譜儀檢測(cè)到該波長(zhǎng)的光，從而確定被測(cè)物體的位置。**二、光譜共焦傳感器的組成部分**1. **光源**：通常為寬光譜光源，能夠提供一定波長(zhǎng)范圍的光。例如，在一些研究中提到的寬光譜光源可以覆蓋特定的波長(zhǎng)范圍，以滿足不同測(cè)量需求。2. **色散物鏡**：是光譜共焦傳感器的關(guān)鍵組成部分之一。它能夠?qū)⒉煌ㄩL(zhǎng)的光聚焦在不同的軸向位置，從而實(shí)現(xiàn)對(duì)被測(cè)物體位置的精確測(cè)量。設(shè)計(jì)色散物鏡時(shí)，需要考慮多個(gè)...

光譜共焦位移傳感器制造技術(shù)詳解

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摘要光譜共焦位移傳感器是一種高精度、非接觸式的光電位移傳感器，廣泛應(yīng)用于光學(xué)鏡片檢測(cè)、半導(dǎo)體制造、醫(yī)療器械生產(chǎn)等多個(gè)領(lǐng)域。本文詳細(xì)闡述了光譜共焦位移傳感器的制造技術(shù)，包括生產(chǎn)技術(shù)細(xì)節(jié)、工藝流程以及需要注意的具體事項(xiàng)，為相關(guān)領(lǐng)域的研發(fā)和生產(chǎn)提供參考。引言隨著精密儀器制造業(yè)的發(fā)展，對(duì)于工業(yè)生產(chǎn)測(cè)量的要求越來(lái)越高。光譜共焦位移傳感器以其高精度、非接觸式、實(shí)時(shí)無(wú)損檢測(cè)等特性，成為解決這一問(wèn)題的有效手段。本文旨在詳細(xì)介紹光譜共焦位移傳感器的制造技術(shù)，包括關(guān)鍵零部件的選擇、生產(chǎn)工藝流程以及制造過(guò)程中需要注意的事項(xiàng)。一、光譜共焦位移傳感器的基本原理光譜共焦位移傳感器由光源、分光鏡、光學(xué)色散鏡頭組、小孔以及光譜儀等部分組成。傳感器通過(guò)色散鏡頭將位移信息轉(zhuǎn)換成波長(zhǎng)信息，再利用光譜儀進(jìn)行光譜分解，反解得出被測(cè)位移。其中，色散鏡頭作為光學(xué)部分完成了波長(zhǎng)和位移的一一映射，是傳感器的核心部件。二、關(guān)鍵零部件的選擇1...

激光位移傳感器制造全過(guò)程及零部件

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激光位移傳感器作為一種高精度、非接觸式的測(cè)量工具，在工業(yè)自動(dòng)化、科研、醫(yī)療等多個(gè)領(lǐng)域發(fā)揮著重要作用。其制造過(guò)程涉及多個(gè)環(huán)節(jié)和專業(yè)技術(shù)，以下將詳細(xì)介紹激光位移傳感器的制造全過(guò)程及所使用的零部件。一、設(shè)計(jì)與研發(fā)激光位移傳感器的制造首先始于設(shè)計(jì)與研發(fā)階段。根據(jù)市場(chǎng)需求和技術(shù)趨勢(shì)，設(shè)計(jì)團(tuán)隊(duì)會(huì)確定傳感器的主要性能指標(biāo)，如測(cè)量范圍、精度、分辨率等。接著，選擇合適的激光發(fā)射器和接收器，設(shè)計(jì)光學(xué)系統(tǒng)和信號(hào)處理電路。這一階段的關(guān)鍵在于確保傳感器能夠滿足預(yù)期的測(cè)量要求，并具備良好的穩(wěn)定性和可靠性。二、原材料采購(gòu)在設(shè)計(jì)完成后，進(jìn)入原材料采購(gòu)階段。激光位移傳感器的主要零部件包括：激光器：產(chǎn)生高方向性的激光束，用于照射被測(cè)物體。激光器的選擇直接影響傳感器的測(cè)量精度和穩(wěn)定性。光電二極管或CCD/CMOS圖像傳感器：作為接收器，接收被測(cè)物體反射回來(lái)的激光，并將其轉(zhuǎn)換為電信號(hào)。光學(xué)透鏡組：包括發(fā)射透鏡和接收透鏡，用于調(diào)整...

泓川科技：破冰之旅——LTP系列激光位移傳感器，全國(guó)產(chǎn)化的輝煌篇章

2024 - 12 - 01

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標(biāo)題：泓川科技：破冰之旅——LTP系列激光位移傳感器，全國(guó)產(chǎn)化的輝煌篇章在科技日新月異的今天，每一個(gè)微小的進(jìn)步都可能成為推動(dòng)行業(yè)變革的巨大力量。然而，在高端激光位移傳感器領(lǐng)域，長(zhǎng)期以來(lái)，我國(guó)一直面臨著國(guó)外技術(shù)的嚴(yán)密封鎖與市場(chǎng)壟斷。西克SICK、米銥、基恩士、奧泰斯等國(guó)際品牌如同難以逾越的高山，讓國(guó)內(nèi)企業(yè)在這一關(guān)鍵領(lǐng)域步履維艱。但在這片看似無(wú)望的疆域中，泓川科技有限公司卻以一腔熱血和不懈追求，書寫了一段打破壟斷、實(shí)現(xiàn)全國(guó)產(chǎn)化替代的傳奇故事。破冰之始：挑戰(zhàn)與決心面對(duì)國(guó)際巨頭的強(qiáng)勢(shì)地位，泓川科技沒(méi)有選擇退縮，而是迎難而上。他們深知，要在這片被外資品牌牢牢掌控的市場(chǎng)中開辟新天地，就必須拿出過(guò)硬的產(chǎn)品和技術(shù)。于是，LTP系列高精度激光位移傳感器的研發(fā)項(xiàng)目應(yīng)運(yùn)而生，這不僅是泓川科技對(duì)技術(shù)創(chuàng)新的執(zhí)著追求，更是對(duì)國(guó)家科技自立自強(qiáng)戰(zhàn)略的積極響應(yīng)。技術(shù)攻堅(jiān)：細(xì)節(jié)決定成敗在LTP系列的研發(fā)過(guò)程中，泓川科技團(tuán)隊(duì)對(duì)...

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新型安全激光掃描儀的優(yōu)點(diǎn)特性介紹

2023 - 02 - 26

今天我為大家展示安全激光掃描儀產(chǎn)品，安全激光掃描儀適用于各種應(yīng)用技術(shù)領(lǐng)域，在設(shè)備開發(fā)期間我們給予了特別關(guān)注，以確保它能夠在廣泛應(yīng)用中發(fā)揮最佳功能，尤其重視大型工作區(qū)域的防護(hù)，例如機(jī)床正面區(qū)域或機(jī)器人工作區(qū)域。其他應(yīng)用包括移動(dòng)車輛的防護(hù)，例如側(cè)向滑動(dòng)裝置或移動(dòng)運(yùn)輸設(shè)備，無(wú)人駕駛運(yùn)輸系統(tǒng)。甚至垂直安裝激光掃描儀的出入口保護(hù)系統(tǒng)。盡管我們?cè)诎踩す鈷呙枧c領(lǐng)域，已經(jīng)有數(shù)10年的經(jīng)驗(yàn)了，但該應(yīng)用領(lǐng)域仍然面對(duì)許多挑戰(zhàn)。不過(guò)我們的激光安全掃描儀具有獨(dú)一無(wú)二的功能屬性，例如具有8.25米檢測(cè)距離和270度掃描范圍。屬于目前市場(chǎng)上的高端設(shè)備，非常適合側(cè)向滑動(dòng)裝置正面區(qū)域等大型區(qū)域或長(zhǎng)距離的防護(hù)。該設(shè)備的另一個(gè)亮點(diǎn)就是能夠同時(shí)監(jiān)測(cè)兩個(gè)保護(hù)功能。這在許多應(yīng)用領(lǐng)域中，獨(dú)具優(yōu)勢(shì)以前需要使用兩個(gè)設(shè)備，如今只需要使用一臺(tái)這樣的安全激光掃描儀，即可完成兩臺(tái)設(shè)備的功能。實(shí)踐中遇到的一項(xiàng)挑戰(zhàn)是設(shè)計(jì)一款異常強(qiáng)骨的激光安全掃描儀。能夠適應(yīng)周圍環(huán)境中可能存在的灰塵和顆粒等惡劣條件，因此我們提供了較分辨率達(dá)到0.1度的設(shè)備。它在目前市場(chǎng)上具有非常高的價(jià)值。 ...
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詳解激光三角位移傳感器的原理及市場(chǎng)應(yīng)用

2023 - 09 - 16

大家好，今天給大家詳細(xì)說(shuō)明下目前我們市面上用的激光位移傳感器內(nèi)部構(gòu)造及詳細(xì)原理、應(yīng)用、市場(chǎng)種類、及未來(lái)發(fā)展，我在網(wǎng)上搜索了很多資料，發(fā)現(xiàn)各大平臺(tái)或者廠商提供的信息大多千篇一律或者式只言片語(yǔ)，要么是之說(shuō)出大概原理，要買只講出產(chǎn)品應(yīng)用，對(duì)于真正想了解激光位移傳感器三角回差原理的朋友們來(lái)說(shuō)總是沒(méi)有用辦法說(shuō)透，我今天花點(diǎn)時(shí)間整理了各大平臺(tái)的大牛們的解釋，再結(jié)合自己對(duì)產(chǎn)品這么多年來(lái)的認(rèn)識(shí)，整理出以下這篇文章，希望能給想要了解這種原理的小伙伴一點(diǎn)幫助！好了廢話不多說(shuō)我們直接上干貨首先我們要說(shuō)明市面上的激光測(cè)量位移或者距離的原理有很多，比如最常用的激光三角原理，TOF時(shí)間飛行原理，光譜共焦原理和相位干涉原理，我們今天給大家詳細(xì)介紹的是激光三角測(cè)量法和激光回波分析法，激光三角測(cè)量法一般適用于高精度、短距離的測(cè)量，而激光回波分析法則用于遠(yuǎn)距離測(cè)量，下面分別介紹激光三角測(cè)量原理和激光回波分析原理。讓我們給大家分享一個(gè)激光位移傳感器原理圖，一般激光位移傳感器采用的基本原理是光學(xué)三角法：半導(dǎo)體激光器：半導(dǎo)體激光器①被鏡片②聚焦到被測(cè)物體⑥。反射光被鏡片③收集，投射到CMOS陣列④上；信號(hào)處理器⑤通過(guò)三角函數(shù)計(jì)算陣列④上的光點(diǎn)位置得到距物體的距離。一、激光位移傳感器原理之激光三角測(cè)量法原理1．激光發(fā)射器通過(guò)鏡頭將可見(jiàn)紅色激光射向被測(cè)物體表面，經(jīng)物體反射的激光通過(guò)接收器鏡頭，被內(nèi)部的CCD線性相機(jī)接收，根據(jù)...
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白光干涉測(cè)厚傳感器在晶圓水膜厚度測(cè)量中的應(yīng)用及操作步驟詳解

2024 - 01 - 21

白光干涉測(cè)厚儀是一種非接觸式測(cè)量設(shè)備，廣泛應(yīng)用于測(cè)量晶圓上液體薄膜的厚度。其原理基于分光干涉原理，通過(guò)利用反射光的光程差來(lái)測(cè)量被測(cè)物的厚度。白光干涉測(cè)厚儀工作原理是將寬譜光（白光）投射到待測(cè)薄膜表面上，并分析返回光的光譜。被測(cè)物的上下表面各形成一個(gè)反射，兩個(gè)反射面之間的光程差會(huì)導(dǎo)致不同波長(zhǎng)（顏色）的光互相增強(qiáng)或者抵消。通過(guò)詳細(xì)分析返回光的光譜，可以得到被測(cè)物的厚度信息。白光干涉測(cè)厚儀在晶圓水膜厚度測(cè)量中具有以下優(yōu)勢(shì)：1. 測(cè)量范圍廣：能夠測(cè)量幾微米到1mm左右范圍的厚度。2. 小光斑和高速測(cè)量：采用SLD（Superluminescent Diode）作為光源，具有小光斑和高速測(cè)量的特點(diǎn)，能夠?qū)崿F(xiàn)快速準(zhǔn)確的測(cè)量。下面是使用白光干涉測(cè)厚儀測(cè)量晶圓上水膜厚度的詳細(xì)步驟：1. 準(zhǔn)備工作：確保待測(cè)晶圓樣品表面清潔平整，無(wú)雜質(zhì)和氣泡。2. 參數(shù)設(shè)置：調(diào)整白光干測(cè)厚涉儀到合適的工作模式，并確定合適的測(cè)量參數(shù)和光學(xué)系統(tǒng)設(shè)置。根據(jù)具體要求選擇光譜范圍、采集速度等參數(shù)。3. 樣品放置：將待測(cè)晶圓放置在白光干涉測(cè)厚儀的測(cè)量臺(tái)上，并固定好位置，使其與光學(xué)系統(tǒng)保持穩(wěn)定的接觸。確保樣品與測(cè)量臺(tái)平行，并避免外界干擾因素。4. 啟動(dòng)測(cè)量：?jiǎn)?dòng)白光干涉測(cè)厚儀，開始測(cè)量水膜厚度。通過(guò)記錄和分析返回光的光譜，可以得到晶圓上水膜的厚度信息?？梢酝ㄟ^(guò)軟件實(shí)時(shí)顯示和記錄數(shù)據(jù)。5. 連續(xù)監(jiān)測(cè)：對(duì)于需要連續(xù)監(jiān)測(cè)晶圓上水膜厚度變...
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超聲波測(cè)距傳感器在鋰電池生產(chǎn)過(guò)程中測(cè)量卷繞直徑的應(yīng)用

2023 - 03 - 07

本次應(yīng)用報(bào)告旨在介紹超聲波測(cè)距傳感器在鋰電池生產(chǎn)過(guò)程中測(cè)量卷繞直徑的應(yīng)用情況。首先，本文將介紹超聲波測(cè)距傳感器的基本工作原理和特點(diǎn)，然后詳細(xì)介紹其在鋰電池生產(chǎn)中的應(yīng)用情況，并對(duì)其應(yīng)用效果進(jìn)行評(píng)估和總結(jié)。一、超聲波測(cè)距傳感器的基本工作原理和特點(diǎn)超聲波測(cè)距傳感器是一種通過(guò)超聲波測(cè)量距離的傳感器，其測(cè)量原理非常簡(jiǎn)單，就是利用超聲波在空氣中的傳播速度快，而且與環(huán)境中的溫度、濕度等因素?zé)o關(guān)的特點(diǎn)。具體來(lái)說(shuō)，超聲波測(cè)距傳感器通過(guò)發(fā)射超聲波信號(hào)，當(dāng)這些信號(hào)遇到物體時(shí)就會(huì)反射回來(lái)，傳感器通過(guò)感受這些反射信號(hào)的到達(dá)時(shí)間，從而計(jì)算出物體與傳感器之間的距離。超聲波測(cè)距傳感器具有響應(yīng)速度快、距離測(cè)量范圍廣、測(cè)量精度高和使用方便等特點(diǎn)。因此，在工業(yè)自動(dòng)化、機(jī)器人、汽車和航空等領(lǐng)域已經(jīng)廣泛應(yīng)用。二、超聲波測(cè)距傳感器在鋰電池生產(chǎn)中的應(yīng)用鋰電池的核心部件是電芯，而電芯的生產(chǎn)過(guò)程中就需要進(jìn)行鋰電池卷繞。卷繞的直徑大小對(duì)于電芯的性能有很大的影響。因此，測(cè)量卷繞直徑是電芯生產(chǎn)過(guò)程中非常重要的環(huán)節(jié)。傳統(tǒng)的測(cè)量方法是利用拉尺、卡尺等工具進(jìn)行物理測(cè)量，但是由于電芯內(nèi)部結(jié)構(gòu)復(fù)雜、精度要求高、測(cè)量效率低等因素，往往會(huì)出現(xiàn)誤差較大的情況。超聲波測(cè)距傳感器可以很好地解決這個(gè)問(wèn)題。具體來(lái)說(shuō)，在電芯卷繞時(shí)，只需要將超聲波測(cè)距傳感器置于卷繞機(jī)上方，然后通過(guò)發(fā)射超聲波信號(hào)測(cè)量卷繞軸的直徑大小即可。由于超聲波的反射信號(hào)可以穿透物體，因此不會(huì)對(duì)...
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光譜共焦傳感器在激光隱切技術(shù)（激光隱形切割）晶圓切割中發(fā)揮了哪些作用？

2023 - 09 - 25

由于半導(dǎo)體生產(chǎn)工藝的復(fù)雜性和精密性，對(duì)晶圓切割的技術(shù)要求極高，傳統(tǒng)的機(jī)械切割方式已經(jīng)無(wú)法滿足現(xiàn)代電子行業(yè)的需求。在這種情況下，光譜共焦位移傳感器配合激光隱切技術(shù)（激光隱形切割）在晶圓切割中發(fā)揮了重要作用。以下將詳細(xì)介紹這種新型高效切割技術(shù)的應(yīng)用案例及其優(yōu)勢(shì)。原理：利用小功率的激光被光譜共焦位移傳感器設(shè)定的預(yù)定路徑所導(dǎo)，聚焦在直徑只有100多納米的光斑上，形成巨大的局部能量，然后根據(jù)這個(gè)能量將晶圓切割開。光譜共焦位移傳感器在切割過(guò)程中實(shí)時(shí)檢測(cè)切口深度和位置，確保切口的深廣和位置的精確性。激光隱切與光譜共焦位移傳感器結(jié)合的應(yīng)用案例：以某種先進(jìn)的半導(dǎo)體制程為例，晶圓經(jīng)過(guò)深刻蝕、清洗、擴(kuò)散等步驟后，需要進(jìn)行精確切割。在這個(gè)過(guò)程中，首先，工程師根據(jù)需要的切割圖案在軟件上設(shè)定好切割路徑，然后切割機(jī)通過(guò)光譜共焦位移傳感器引導(dǎo)激光按照預(yù)定的路徑且此過(guò)程工程師可以實(shí)時(shí)觀察和測(cè)量切口深度和位置。優(yōu)點(diǎn)：這種技術(shù)最大的優(yōu)勢(shì)就是它能夠?qū)崿F(xiàn)超微細(xì)切割，避免了大功率激光對(duì)芯片可能會(huì)帶來(lái)的影響。另外，因?yàn)榍懈畹纳疃群臀恢每梢詫?shí)時(shí)調(diào)控，這法也非常具有靈活性。同時(shí)，由于使用光譜共焦位移傳感器精確控制切割的深度和位置，所以切割出來(lái)的晶圓表面平整，質(zhì)量更好?？偟膩?lái)看，光譜共焦位移傳感器配合激光隱切在晶圓切割中的應(yīng)用，不僅提升了生產(chǎn)效率，減少了廢品率，而且大幅度提升了產(chǎn)品質(zhì)量，對(duì)于當(dāng)前和未來(lái)的半導(dǎo)體行業(yè)都將是一個(gè)革新的技...
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非接觸式激光傳感器在生產(chǎn)線上的應(yīng)用有哪些優(yōu)勢(shì)？

2024 - 03 - 05

非接觸式激光位移傳感器在生產(chǎn)線上的應(yīng)用具有多方面的優(yōu)勢(shì)，下面將從精度、速度、可靠性、靈活性和安全性等方面進(jìn)行逐一分析，并通過(guò)具體的應(yīng)用場(chǎng)景來(lái)說(shuō)明其應(yīng)用價(jià)值。同時(shí)，還會(huì)與傳統(tǒng)的接觸式傳感器進(jìn)行比較，以突顯非接觸式激光位移傳感器的獨(dú)特優(yōu)勢(shì)。精度：非接觸式激光位移傳感器采用激光三角測(cè)量法，具有極高的測(cè)量精度。例如，在半導(dǎo)體制造過(guò)程中，需要精確控制薄膜的厚度，非接觸式激光位移傳感器可以實(shí)現(xiàn)微米級(jí)的測(cè)量精度，從而確保產(chǎn)品質(zhì)量。相比之下，傳統(tǒng)接觸式傳感器可能會(huì)因?yàn)榻佑|力度的不同而影響測(cè)量精度。速度：非接觸式激光位移傳感器具有快速響應(yīng)的特點(diǎn)，可以在生產(chǎn)線上實(shí)現(xiàn)高速測(cè)量。例如，在包裝機(jī)械中，需要實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)包裝材料的位置和速度，非接觸式激光位移傳感器可以迅速捕捉到這些變化，從而確保包裝過(guò)程的順利進(jìn)行。而傳統(tǒng)接觸式傳感器可能會(huì)因?yàn)榻佑|摩擦等因素而影響測(cè)量速度?？煽啃裕悍墙佑|式激光位移傳感器無(wú)需與目標(biāo)物體直接接觸，因此可以避免因摩擦、磨損等因素導(dǎo)致的傳感器損壞。此外，非接觸式傳感器還具有較好的抗干擾能力，可以在惡劣的生產(chǎn)環(huán)境中穩(wěn)定工作。相比之下，傳統(tǒng)接觸式傳感器更容易受到環(huán)境因素的影響而出現(xiàn)故障。靈活性：非接觸式激光位移傳感器可以適應(yīng)不同的測(cè)量需求，通過(guò)調(diào)整激光發(fā)射角度、接收透鏡焦距等參數(shù)，可以實(shí)現(xiàn)不同距離、不同角度的測(cè)量。此外，非接觸式傳感器還可以與計(jì)算機(jī)、PLC等設(shè)備進(jìn)行連接，實(shí)現(xiàn)自動(dòng)化控制和數(shù)據(jù)處理...
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非接觸激光測(cè)量和接觸式測(cè)量的優(yōu)缺點(diǎn)分析及市場(chǎng)應(yīng)用

2023 - 03 - 08

一、概述隨著現(xiàn)代工業(yè)的不斷發(fā)展和進(jìn)步，精度對(duì)于工業(yè)生產(chǎn)過(guò)程中所需要的各種測(cè)試測(cè)量技術(shù)要求也越來(lái)越高。而激光測(cè)量技術(shù)則是在這種背景下得以應(yīng)用的，這是利用激光作為工具進(jìn)行測(cè)量分析的一種方法。激光測(cè)量可以分為非接觸式和接觸式兩種方式。二、非接觸激光測(cè)量非接觸激光測(cè)量技術(shù)是指激光束在不與被測(cè)物體表面發(fā)生接觸的情況下，對(duì)被測(cè)物體進(jìn)行測(cè)量操作。它主要利用激光的高亮度、高單色性、高方向性等特點(diǎn)，將測(cè)量對(duì)象和激光之間的無(wú)線電輻射或光輻射聯(lián)系起來(lái)，通過(guò)對(duì)測(cè)量信號(hào)的處理，來(lái)獲得被測(cè)物體的相關(guān)參數(shù)?？梢詮V泛應(yīng)用于自動(dòng)化制造、工業(yè)檢測(cè)、生命科學(xué)、質(zhì)量控制檢測(cè)等領(lǐng)域。2.1 非接觸式測(cè)量?jī)?yōu)點(diǎn)（1）不會(huì)對(duì)被測(cè)物體造成損傷。激光測(cè)量技術(shù)是無(wú)損傷性的，測(cè)量過(guò)程中不會(huì)對(duì)被測(cè)物體造成任何損傷，也不會(huì)影響被測(cè)物體的結(jié)構(gòu)、形狀和性能。（2）精度高。非接觸激光測(cè)量技術(shù)具有高精密性、高靈敏性和高分辨力，能夠以亞微米級(jí)的精度獲得被測(cè)物體的相關(guān)參數(shù)，減小了人為誤差和測(cè)量結(jié)果的不確定性。（3）高速度。非接觸激光測(cè)量技術(shù)具有快速高效的特點(diǎn)，對(duì)于一些需要進(jìn)行即時(shí)在線檢測(cè)或高頻率的質(zhì)檢要求，非接觸激光測(cè)量技術(shù)具有獨(dú)特的優(yōu)勢(shì)。（4）測(cè)量安全。由于非接觸激光測(cè)量技術(shù)可以在安全距離的范圍內(nèi)進(jìn)行，因此保障了測(cè)量人員的身體健康和安全。2.2 非接觸式測(cè)量缺點(diǎn)（1）不適用于暗面測(cè)量。非接觸激光測(cè)量技術(shù)無(wú)法對(duì)于有光線被擋住的部位進(jìn)行測(cè)量，因此適用于透...
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如何利用光譜共焦傳感器來(lái)檢測(cè)薄膜生產(chǎn)中的薄厚偏差？

2023 - 09 - 25

在高精度的生產(chǎn)工序中，薄膜偏差是一項(xiàng)極為重要的控制指標(biāo)。由于微觀材料結(jié)構(gòu)的敏感性，稍有偏差就可能會(huì)導(dǎo)致產(chǎn)品的細(xì)微變形，從而引發(fā)性能下降、使用壽命縮短等一系列問(wèn)題。因此，對(duì)薄膜偏差的精確檢測(cè)與實(shí)時(shí)調(diào)控具有至關(guān)重要的意義。對(duì)于這樣的需求，光譜共焦位移傳感器便能發(fā)揮出它重要的作用。通過(guò)實(shí)現(xiàn)對(duì)薄膜厚度的非接觸式實(shí)時(shí)監(jiān)視，它可以有效地預(yù)防或及時(shí)地調(diào)整可能發(fā)生的偏差，提高生產(chǎn)過(guò)程中的精準(zhǔn)度和穩(wěn)定性。原理上，光譜共焦位移傳感器利用光源通過(guò)物體后的干涉進(jìn)行測(cè)量，借助高精度的光學(xué)系統(tǒng)和高靈敏的光電檢測(cè)設(shè)備，最終得出偏差情況。另一方面，光譜共焦位移傳感器具有小型化的優(yōu)勢(shì)。它采用集成設(shè)計(jì)，尺寸小巧，可以安裝在設(shè)備內(nèi)的有限空間中，且不會(huì)影響主機(jī)性能。這大大擴(kuò)展了其使用場(chǎng)景，讓即使是較為狹小的環(huán)境也能實(shí)現(xiàn)精確的監(jiān)控?？偨Y(jié)來(lái)說(shuō)，光譜共焦位移傳感器代表著未來(lái)高精密度生產(chǎn)領(lǐng)域的主流趨。其不僅具備高精度、快反應(yīng)、難以受到環(huán)境干擾等優(yōu)點(diǎn)，還由于其小型化、適用于狹窄環(huán)境等特性，使其逐漸被更多的高科技領(lǐng)域所接受和采納。

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激光測(cè)振技術(shù)：旋轉(zhuǎn)機(jī)械檢測(cè)的核心手段 2024 - 12 - 22 在旋轉(zhuǎn)機(jī)械的運(yùn)行過(guò)程中，振動(dòng)情況直接關(guān)乎其性能與安全。激光測(cè)振動(dòng)傳感器憑借其獨(dú)特優(yōu)勢(shì)，成為該領(lǐng)域不可或缺的檢測(cè)利器。它采用非接觸式測(cè)量，有效避免了對(duì)旋轉(zhuǎn)機(jī)械的物理干擾，確保測(cè)量的精準(zhǔn)性。其高精度的特性，能夠捕捉到極其微小的振動(dòng)變化，為故障診斷提供可靠依據(jù)。廣泛的應(yīng)用范圍涵蓋了電機(jī)、風(fēng)機(jī)、軸承等各類旋轉(zhuǎn)機(jī)械，在能源、化工、機(jī)械制造等眾多行業(yè)都發(fā)揮著關(guān)鍵作用。通過(guò)實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)振動(dòng)數(shù)據(jù)，可及時(shí)發(fā)現(xiàn)潛在問(wèn)題，預(yù)防設(shè)備故障，保障生產(chǎn)的連續(xù)性與穩(wěn)定性，大大降低維修成本與停機(jī)風(fēng)險(xiǎn)。工作原理：激光與振動(dòng)的深度互動(dòng)激光測(cè)振動(dòng)傳感器基于激光多普勒效應(yīng)工作。當(dāng)激光照射到旋轉(zhuǎn)機(jī)械的振動(dòng)表面時(shí)，由于物體表面的振動(dòng)，反射光的頻率會(huì)發(fā)生多普勒頻移。設(shè)激光源發(fā)射的激光頻率為，物體表面振動(dòng)速度為，激光波長(zhǎng)為，則多普勒頻移可由公式計(jì)算得出。通過(guò)精確測(cè)量多普勒頻移，就能得到物體表面的振動(dòng)速度，進(jìn)而獲取振動(dòng)信息。與傳統(tǒng)測(cè)量原理相比，激光多普勒測(cè)振具有顯著優(yōu)勢(shì)。傳統(tǒng)的接觸式測(cè)量方法，如壓電式傳感器，需要與被測(cè)物體直接接觸，這不僅會(huì)對(duì)旋轉(zhuǎn)機(jī)械的運(yùn)行產(chǎn)生一定干擾，還可能因安裝問(wèn)題影響測(cè)量精度，而且在高速旋轉(zhuǎn)或微小振動(dòng)測(cè)量時(shí)，接觸式傳感器的響應(yīng)速度和精度受限。而激光測(cè)振傳感器采用非接觸式測(cè)量，避免了對(duì)旋轉(zhuǎn)機(jī)械的物理干擾，可實(shí)現(xiàn)高精度、寬頻帶的測(cè)量，適用于各種復(fù)雜工況下的旋轉(zhuǎn)機(jī)械振動(dòng)測(cè)量。實(shí)驗(yàn)設(shè)置：精準(zhǔn)測(cè)量的基石（一）微型激光多普勒測(cè)...

光譜共焦位移傳感器的那些事兒 2024 - 12 - 22 **光譜共焦傳感器是一種具有高精度、高效以及非接觸等技術(shù)優(yōu)勢(shì)的新型幾何量精密測(cè)量傳感器。以下將對(duì)光譜共焦傳感器進(jìn)行詳細(xì)介紹。****一、光譜共焦傳感器的工作原理**光譜共焦傳感器利用不同波長(zhǎng)的光在被測(cè)物體表面反射后，通過(guò)色散物鏡聚焦在不同位置，從而建立位移和波長(zhǎng)之間的關(guān)系。光源發(fā)出的光經(jīng)過(guò)色散物鏡后，不同波長(zhǎng)的光聚焦在不同的軸向位置。當(dāng)被測(cè)物體處于某一特定波長(zhǎng)的焦點(diǎn)位置時(shí)，該波長(zhǎng)的光被反射回傳感器，通過(guò)成像光譜儀檢測(cè)到該波長(zhǎng)的光，從而確定被測(cè)物體的位置。**二、光譜共焦傳感器的組成部分**1. **光源**：通常為寬光譜光源，能夠提供一定波長(zhǎng)范圍的光。例如，在一些研究中提到的寬光譜光源可以覆蓋特定的波長(zhǎng)范圍，以滿足不同測(cè)量需求。2. **色散物鏡**：是光譜共焦傳感器的關(guān)鍵組成部分之一。它能夠?qū)⒉煌ㄩL(zhǎng)的光聚焦在不同的軸向位置，從而實(shí)現(xiàn)對(duì)被測(cè)物體位置的精確測(cè)量。設(shè)計(jì)色散物鏡時(shí)，需要考慮多個(gè)因素，如測(cè)量范圍、圖像空間數(shù)值孔徑、軸向響應(yīng)等。例如，有研究設(shè)計(jì)的色散物鏡測(cè)量范圍為 2mm，圖像空間數(shù)值孔徑為 0.3，軸向響應(yīng) FWHM 優(yōu)于 5μm，分辨率較高，并且波長(zhǎng)與位移之間的判定系數(shù)優(yōu)于 0.9，線性關(guān)系良好。3. **成像光譜儀**：用于檢測(cè)反射回來(lái)的光，并確定其波長(zhǎng)。在一些研究中，采用棱鏡 - 光柵分光的方式對(duì)成像光譜儀的后端進(jìn)行模擬和分析，消除了成像光譜儀中的譜線彎曲。**三、...

光譜共焦位移傳感器制造技術(shù)詳解 2024 - 12 - 11 摘要光譜共焦位移傳感器是一種高精度、非接觸式的光電位移傳感器，廣泛應(yīng)用于光學(xué)鏡片檢測(cè)、半導(dǎo)體制造、醫(yī)療器械生產(chǎn)等多個(gè)領(lǐng)域。本文詳細(xì)闡述了光譜共焦位移傳感器的制造技術(shù)，包括生產(chǎn)技術(shù)細(xì)節(jié)、工藝流程以及需要注意的具體事項(xiàng)，為相關(guān)領(lǐng)域的研發(fā)和生產(chǎn)提供參考。引言隨著精密儀器制造業(yè)的發(fā)展，對(duì)于工業(yè)生產(chǎn)測(cè)量的要求越來(lái)越高。光譜共焦位移傳感器以其高精度、非接觸式、實(shí)時(shí)無(wú)損檢測(cè)等特性，成為解決這一問(wèn)題的有效手段。本文旨在詳細(xì)介紹光譜共焦位移傳感器的制造技術(shù)，包括關(guān)鍵零部件的選擇、生產(chǎn)工藝流程以及制造過(guò)程中需要注意的事項(xiàng)。一、光譜共焦位移傳感器的基本原理光譜共焦位移傳感器由光源、分光鏡、光學(xué)色散鏡頭組、小孔以及光譜儀等部分組成。傳感器通過(guò)色散鏡頭將位移信息轉(zhuǎn)換成波長(zhǎng)信息，再利用光譜儀進(jìn)行光譜分解，反解得出被測(cè)位移。其中，色散鏡頭作為光學(xué)部分完成了波長(zhǎng)和位移的一一映射，是傳感器的核心部件。二、關(guān)鍵零部件的選擇1. 光源選擇白光LED作為光源，其光譜分布范圍廣泛，能夠滿足不同測(cè)量需求。同時(shí)，白光LED具有壽命長(zhǎng)、穩(wěn)定性好等優(yōu)點(diǎn)，適合用于工業(yè)生產(chǎn)環(huán)境。2. 色散鏡頭色散鏡頭是光譜共焦位移傳感器的關(guān)鍵部件，其性能直接影響傳感器的測(cè)量精度和分辨率。在選擇色散鏡頭時(shí)，需要考慮其軸向色散與波長(zhǎng)之間的線性度、色散范圍以及鏡頭材料等因素。3. 光譜儀光譜儀用于接收通過(guò)小孔的光信號(hào)，并確定其波長(zhǎng)，從而實(shí)現(xiàn)位移分辨。在選擇...

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