現(xiàn)代工業(yè)發(fā)展過(guò)程中許多快速響應(yīng)的測(cè)量?jī)x器誕生,激光位移傳感器便是其中一種,目前該種設(shè)備儀器在理論上已相當(dāng)成熟,在投入實(shí)際的應(yīng)用后有部分瑕疵,隨著光電技術(shù)檢測(cè)領(lǐng)域的發(fā)展快速激光位移傳感器迅速的將瑕疵進(jìn)行優(yōu)化,使其在實(shí)際應(yīng)用中更加游刃有余,那么質(zhì)量有保證的激光位移傳感器都有哪些突出設(shè)計(jì)呢?
1、整形鏡設(shè)計(jì)
激光位移傳感器的測(cè)量精度容易受到被測(cè)物體表面特征的影響,為了減小測(cè)量誤差在整形鏡設(shè)計(jì)中應(yīng)盡量使出射光斑在有效的測(cè)量范圍內(nèi)實(shí)現(xiàn)光斑小且均勻。針對(duì)傳感頭小型化設(shè)計(jì)的要求,半導(dǎo)體激光器體積小、重量輕的優(yōu)點(diǎn)正好符合這一要求但需要對(duì)其進(jìn)行光束整形。要想在工作范圍內(nèi)得到好的光斑質(zhì)量,可采用柱面鏡或非球面實(shí)現(xiàn),另外波前編碼和切趾法在延拓焦深方面也有很好的效果。
2、光斑大小分布設(shè)計(jì)
為了保證系統(tǒng)在整個(gè)工作范圍內(nèi)得到相對(duì)均勻的光斑,激光位移傳感器的整形系統(tǒng)經(jīng)過(guò)了多個(gè)層次的優(yōu)化設(shè)計(jì),整形系統(tǒng)得到的光斑不能太小,同時(shí)為了保證精度要求光斑也不能太大,因此它可以在捕捉光斑的基礎(chǔ)之上盡量的保證光斑的大小均勻分布均勻,在精度允許的情況下,激光位移傳感器可考慮全部采用球面鏡,不考慮焦深延拓,用變倍的方法實(shí)現(xiàn)在各種物距處光斑大小均勻一致。
3、成像透鏡設(shè)計(jì)
得到好的出射光斑以后,如何接收物體表面的散射光并使其精確成像,是確保激光位移傳感器精度的關(guān)鍵問(wèn)題。在直入射式三角法測(cè)量中,物體沿激光入射方向移動(dòng),物面并不垂直于成像光軸,那么激光位移傳感器在透鏡成像過(guò)程中還需通過(guò)實(shí)時(shí)的動(dòng)態(tài)調(diào)整保證成像的順序和成像的質(zhì)量合乎標(biāo)準(zhǔn)。
總體來(lái)說(shuō)激光位移傳感器在范圍控制和成像等方式上操作性更強(qiáng),而且能夠?qū)Ω黜?xiàng)工作進(jìn)行分類(lèi)處理,無(wú)論是散射光強(qiáng)度大還是角度過(guò)小等,通過(guò)傳感器捕捉合成之后均可以表現(xiàn)出適應(yīng)測(cè)量的標(biāo)準(zhǔn),所以它在諸多領(lǐng)域充當(dāng)著核心作用,耐用的激光位移傳感器為各種物理量的測(cè)量提供服務(wù)。