今天我們利用線光譜共焦傳感器來對陶瓷基板的溝槽進行掃描測量,首先我們介紹下光譜感覺傳感器的工作原理。光譜共焦測量通過使用特殊透鏡,延長不同顏色光的焦點光暈范圍,形成特殊放大色差,使其根據(jù)不同的被測物體到透鏡的距離,會對應(yīng)一個精確波長 的光聚焦到被測物體上。通過測量反射光的波長,就可以得到被測物體到透鏡的精確距離。
反射光的光強不會影響測量結(jié)果。這意味著,無論有多少反射光從被測物體反射回來,測量的距離結(jié)果可能是不變的。因為反射光的光強僅僅取決于反 射物體的反光程度。因此,采用的3D線光譜共焦傳感器,即使被測物體是強吸光材料,如黑色橡膠;或者是透明材料,如玻璃或者液體,都可以進 行 正??煽康臏y量。
根據(jù)客戶提供的測試需求, 利用我們的線光譜共焦傳感器 對陶瓷基板的凹槽進行掃描,通過灰度顯示的ROI數(shù)據(jù)及3D點云測量凹槽深度以及寬度。
掃描取樣
陶瓷基板樣品經(jīng)掃描后凹槽處各個位置的深度寬度信息都能很好的在3D點云圖上面呈現(xiàn)出來,通過灰度圖與點云測量相結(jié)合能把需求測量范圍的深度寬度信息很好的測量出來。